質量流量計運用流體質量流量對振動管震蕩的調制作用為原理。傳感器由振動管（測量管）、信號檢測器、振動驅動器、支撐結構和殼體組成。變送器以微處理器為核心，它向傳感器提供驅動力，并將傳感器測量的信號轉換為質量流量信號，還有根據溫度參數對質量流量和密度測量進行補償、修正的功能，變送器輸出電流信號或頻率信號，可按一定的協議與DCS通訊。
質量流量計的優點：
熱分布式可測量低流速微小流量；浸入式可測量低~中偏高流速，插入式更適合于大管徑。
無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小；帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。
使用性能相對可靠。與推導式質量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現故障概率小。
熱分布式儀表用于H2、N2、O2、CO、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不*這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。
基于熱擴散原理而設計的，該儀表采用恒溫差法對氣體進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方便，測量準確等優點。
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